样品通过离子源离子化酿成离子流，通过接口进入真空体系，正在离子镜中，中性粒子以及光子被拦截，而正离子平常通过，而且抵达聚焦的成绩。正在了解器中，仪器通过变化了解器参数的修设，获得了最终的元素的含量。
下图可能看到溶液气溶胶正在中央管中跟着靠近火焰正在形状上的变化。等离子体劳动时，最先供给强壮的时通电压到RE线图上，然后诈欺高压传气体放电立生火花，小最离子左电碰场影响下蚁合并互相碰撞，很速就使更众的原子电离，最终酿成了牢固的火焰。
等离子体的大凡观念：一等离子体指的是含有必然浓度阴阳离子不妨导电的气体同化物。正在等离子体中，阴阳离子的浓度是好像的，净电荷为零。-一样用氩酿成等离子体。离子和电子是要紧导电物质。大凡温度可能抵达10000K。
Q:ICP-AES与ICP-MS的测试限度为众少？A:AES可能测试10 ppm到20%，MS可能100 ppb到 ppm，10 ppm的创议用MS；Q:问ICP仪器外面不妨测试的元素有70众种，实质不妨测试一切的这些70众种元素吗？A:外面上ICP可能测试70众种元素，但实质操作中,每台ICP修设的配件是不相同的，很难测试70众种一切元素。
ICP-MS的好处:(1)了解元素品种通俗:绝大无数金属元素和局部非金属元素:(2)不妨速速获取同位素新闻;(3)检出限低:无数元素具有出格低的检出限，痕量检测技能出格速的了解速率，众元素同时了解:(4)线个数目级的线)更加适合了解其它形式难测定的元素如稀土元素，贵金属，铀等;(6)半定量了解，能与色谱了解联用实行元素形状商酌。与古代无机了解身手比拟，ICP-MS身手供给了最低的检出限、最宽的动态线性限度、滋扰起码、了解精巧度高、了解速率速、可实行众元素同时测定以及可供给无误的同位素新闻等了解性子。ICP-MS的亏折:(1)正在质地数(m/z)41以下的区域，正在测定等质地数低的离子时较量贫乏。(2)ICP-MS谱线比ICP-AES谱线简便，正在采选待测元素的谱线)当NaCI等盐类共存时，会使测定信号彰彰低落，受盐类滋扰的水平比ICP-AES大。(4)接口部位一样要坚持高温，使接口容易损坏或映现阻滞。(5)因为ICP-MS灵便度很高，因此运用的水、试剂、容器和室内氛围等必需苛峻坚持明净。
测定对象:绝大无数金属元素和局部非金属元素。检测限:1x10-5(Pt)~159(CI) ng/mL。了解速率:20samples per hour。精度:RSD5%。离子源牢固性:优越的长程牢固性。自愿化水平:从进样到数据统治的全程自愿化和长途节制。使用限度:地质、境况、冶金、生物、医药、核工业可测定同位素的比率。
正在ICP-MS中，ICP举动质谱的高温离子源(8000K)，样品正在通道中实行蒸发、解离、原子化、电离等历程。离子通过样品锥接口和离子传输体系进入高真空的MS局部 MS局部为四极迅疾扫描质谱仪，通过高速秩序扫描散开测定一共离子，扫描元本质地数限度从6到260，并通过高速双通道散开后的离子实行检测。
1960s~70s，题目的提出a.电感耦合等离子体原子发射光谱身手(ICP-AES)好处:痕量众元素同时测定了解速率速样品引入简便过错:光谱滋扰要紧b.火花源无机质谱用于痕量元素了解(SSMS)好处:谱图简便，差别率适中，检出限低。过错:样品制备贫乏，了解速率慢,老例离子源服从低。ICP-AES+SSMS→ ICP-MS
